Etilen Oksit (EO) Sterilizasyonu: EO renksiz, kokusuz, havadan biraz daha ağır, yanıcı ve patlayıcı, zehirli bir gazdır. Birçok tıbbi malzeme ile uyumlu olup sıcaklığa duyarlı malzemelerde tercih edilen bir yöntemdir. EO sterilizasyon için sürenin, nemin ve ısının belli seviyelerde olması gerekmektedir. EO gazı kolayca penetre olduğu için steril malzemeler üzerindeki gaz artıklarını uzaklaştırmak amacı ile sterilizasyon sonunda malzemeleri havalandırmaya ihtiyaç vardır. 
Avantajları: ısıya ve neme hassas malzeme ve aletler, sentetik, fiberoptik ve PVC malzemeler steril edilebilir. Uygulanması ve takibi kolaydır. Medikal aletlerin çoğunluğu ile uyumludur. Lümenli aletlerin sterilizasyonu için uygundur. Lümen uzunluk ve çap sınırlaması yoktur.
Dezavantajları: Sterilizasyon ve havalandırma süresi uzundur. Sıvılar steril edilemez. Kazan hacmi küçüktür. Paketleme materyali olarak kumaş kullanılamaz. Çevre, hasta ve sağlık çalışanları için güvenlik riski vardır. Yanıcı ve patlayıcı bir gazdır. Zehirli artık bırakabilir. Birinci sınıf kanserojendir. Buhar sterilizasyon yöntemine göre pahalıdır.