Buhar veya 80-90ºC sıcaklıktaki su, dezenfeksiyon amacıyla kullanılabilmektedir. Ekipman parçalarının sıcak suda yaklaşık 10 dakika bekletilmesi veya 1 dakika süreyle buhar geçirilmesi dezenfeksiyon için çoğu durumda yeterli olmaktadır. Kimyasal kalıntı bırakmaması bu ısıl işlemleri cazip kılarken, maliyetleri arttırması, kimyasal dezenfektanların kullanımını yaygınlaştırmaktadır.