Karakteristik X-Işınlarının kullanılmasıdır. Bu yöntemde, hedef atom üzerine gönderilen elektronlar, ilgili atomun yörüngesindeki elektronlarla etkileşimi sonucu aldıkları enerjiyle üst enerji seviyelerine çıkmaktadırlar. Kararsız durumdaki bu enerji seviyeleri geri bozunduğunda dışarıya foton yayınlanmaktadır. Enerjileri, seviyeleri arasındaki farka eşit olan bu fotonlara da Karakteristik X-Işınları adı verilmektedir. Doğru cevap B'dir.