Arıtma aşamasında, kirleticilerin atmosfere verilmeden önce en uygun arıtım yön­temiyle arıtılması ve hava kirliliği kontrol yönetmeliğinde belirtilen sınır değerlere in­dirilmesi gerçekleştirilir. Arıtma yöntemi, faaliyet sonucunda oluşan kirletici miktarı ve özelliklerine bağlı olarak değişiklik göstermektedir. Partikül kirleticilerin arıtımında kul­lanılan yöntemler; çökeltim odaları, siklonlar, ıslak toz tutucular, torba filtreler ve elekt­rostatik toz tutuculardır. Bunun dışında gaz hâlindeki kirleticiler için adsorpsiyon, sıvı içeri­sinde çözme ve diğer katalitik yakma gibi yöntemler kullanılmaktadır.