Partikül kirleticilerin arıtımında kullanılan yöntemler; çökeltim odaları, siklonlar, ıslak toz tutucular, torba filtreler ve elektrostatik toz tutuculardır. Bunun dışında gaz hâlindeki kirleticiler, adsorpsiyon, sıvı içerisinde çözme ve diğer katalitik yakma gibi yöntemler kullanılmaktadır.