Varlıkların ilişkilerini tanımlamak için en kullanışlı yollardan biri varlık-varlık matrisi oluşturmaktır. Oluşturulan bu matriste ilişkilerin tespiti kolaylaşacak, ilişkiler daha açık ve net görülecektir. Varlık-varlık matrisi belirlenen varlıkların oluşturduğu eşit kolon ve sütuna sahip bir tablodur. Belirlenen varlıklar matrisin hem satırlarını hem de sütunlarını oluştururlar. Matrisin satır ve sütunlarının kesişim alanları varlıklar arası ilişkinin tanımlandığı bölgelerdir. Matrisi oluştururken satır ve sütunlarda aynı varlık sırasını kullanmak varlıklar arası ilişkilerin anlaşılırlığını arttıracaktır.

Varlık-varlık matrisindeki her hücre, sütunlardaki varlıklar ile satırlardaki varlıklar arasındaki ilişki potansiyelini göstermektedir. Bu varlıklar arasında bir ilişki ya da birden fazla ilişki var olabileceği gibi, ilişkinin olmaması şeklinde bir olasılık da mümkündür. Satır ve sütundaki varlıklar aynı varlık ise bu tek bileşenli ilişkiyi gösterir.