Doğrusallık, ölçülen değişkenin gerçek değeri ile cihazın çıkış sinyalinin orantılı değişme ölçüsünü gösterir. Hassasiyet, ölçüm sistemi tarafından ölçülen büyüklüğün doğru değere yakın sonuç verme yeteneğidir. ? Çözünürlük, çıkışta algılanabilir bir değişim elde etmek için girişte gerekli olan en küçük değişim miktarıdır. ? Duyarlılık, kalibrasyon eğrisinin eğimidir. Histerizis, sensörün izlendiği sinyal çıkış yörüngesinde aynı giriş sinyaline ?karşılık gelen iki çıkış değeri arasındaki farktır.