Toprağın ilk işlendiği, buna bağlı olarak da ilk yerleşmenin gerçekleştiği bu dönemden Anadolu’da bulunan en erken tarihli yerleşme, Diyarbakır ile Elazığ arasında, Ergani’den 6 km uzaklıktaki Çayönü’dür. Çayönü, Hilar suyunun kıyısındadır. Prof. Dr. Halet Çambel ile Prof. Dr. Robert Braidwood kazıp ortaya çıkarmışlardır. Sulanması kolay düzlük bir alandadır. Yapılar sudan, nemden korunmak için taştan bir subasman üzerine oturtulan kerpiç duvarlarla yapılmışlardı r. Kerpiçin Çayönü’ndeki boyutları 40 × 40 × 10 (ana) ile 20 × 40 × 10 (kuzu) dur.