Dezenfektan özellikli kimyasal maddelerin uygulanması dışında buhar veya 80-90°C sıcaklıktaki su, dezenfeksiyon amacıyla kullanılabilmektedir. Ekipman parçalarının sıcak suda yaklaşık 10 dakika bekletilmesi veya 1 dakika süreyle buhar geçirilmesi dezenfeksiyon için çoğu durumda yeterli olmaktadır.