Süreç hiyerarşisi, süreçlerin büyüklüklerine göre kademeli olarak yapılandırılmasıdır. Süreçlerin kapsamları süreç hiyerarşisinin oluşturulmasında önemlidir. Süreç hiyerarşisi ile ortaya çıkan farklı seviyeler süreçler arasındaki etkileşimi de göz önüne serer. Süreç hiyerarşisi, süreç performansının takip edilebilmesi açısından da son derece önemlidir.