Nemli ısının sterilizasyon amacıyla kullanımında basınçlı buhar uygulamaları, otoklav denilen cihazlarda gerçekleştirilir. Bu işlemde bir atmosfer basınç
altında su buharının sıcaklığı 121 °C’dir ve bu değerlerde 15-45 dakika uygulama
tüm mikroorganizmaların giderilmesiyle sterilizasyon gerçekleşir. Otoklav çalışma sonrasında içeride basınç yüksek olduğundan soğuması beklenmelidir. Fazla
buharın boşaltılması ve basıncın düşmesi sonrasında kapak açılır. Günümüzde
daha yüksek derecelere ulaşabilen (134-135 °C) otaklavlar bulunmaktadır ve bu
cihazlarda sterilizasyon kısa sürede (3-4 dakika) gerçekleştirebilmektedir.